621.381 Е91 Ефимов И.Е, Козырь И.Я, Горбунов Ю.И Микроэлектроника: Физические и технологические основы, надежность - 2 .- Москва.: Высшая школа, 1986 .- 463, - 0 Source: Худалдаж авсан Тавиурын заалт: 621.381 / Е91