621 <br/> M65 
<br/> Middleman, Stanley <br/>
          Process engineering analysis in semiconductor device fabrication 
  
 - 0 
.- New York.: Mc Graw Hill, 1993
.- 774, 
 <br/>  -  0 
<br/><br/><label>Source: </label> Нэгээс нөгөө салбар, нэгж рүү шилжүүлж авсан 
<br/><br/><label>Тавиурын заалт: </label>621  / M65